多晶硅尾气分离提纯设备工艺原理：
多晶硅副产的尾气中含有氢气、氯化氢、三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅等组份，通过加压后，经过单级或多级变压吸附可将各组份进行分离提纯，以达到循环使用的目的。
多晶硅尾气气体分离技术特点：
1、根据实际工况，设计合理的生产工艺结构，氢气回收设备生产厂商，全过程无泄漏，氢气回收设备厂，无腐蚀。
2、选用优质程控阀，可靠性高。
3、自动化程度高，无人值守。
4、可靠的安全性设计，确保操作和运行安全。
5、设备集成度高，精致美观。
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氢气回收是指把工业生产过程中排出的氢气进行除尘、除油、除氧、除水等处理，使氢气质量重新达到生产要求，二次循环使用的系统统称。将排出含有固体杂质和气体杂质的氢气，经过过滤器除大部分固体杂质，进入淋洗塔用水除去气体杂质、氨气，进入冷却系统进行热量交换，氢气回收设备，氢气由出炉时43~47℃下降到15℃，氢气在淋洗过程和冷却过程中除去90%左右的水份。
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氮气净化设备工作原理：DYC系列装置以深冷法制氮、PSA变压吸附制氮，氮膜分离制氮的普通氮气为原料，经过加氢催化除氧，冷凝、吸附二级干燥，过滤，除去氮气中的杂质氧、二氧化碳、水份和尘埃，获得高纯度的氮气。
用户对纯氮中的含氢量有特殊要求时，我们可以通过工艺手段来控制氮气中的氢气含量。若原料氮的氧含量超过0.1％时，则可用加氢除氧和除氢的方式来获得无氢高纯氮，若原料氮的氧含量小于0.1％，则采用化学除氧工艺方法。
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